Sensoren op basis van MEMS-technologie zijn goedkope inertiële sensoren met een hoge precisie die gebruikt kunnen worden voor een groot aantal verschillende industriële toepassingen. Micro-Electro-Mechanische Systemen (MEMS) technologie omvat de integratie van mechanische elementen, sensoren, actuatoren en elektronica op een gemeenschappelijk siliciumsubstraat door middel van microfabricagetechnologie.
Introductie tot MEMS-technologie en MEMS-sensoren
Micro-Electro-Mechanische Systemen (MEMS) technologie omvat de integratie van mechanische elementen, sensoren, actuatoren en elektronica op een gemeenschappelijk siliciumsubstraat door middel van microfabricagetechnologie. MEMS-apparaten kunnen variëren van zeer eenvoudige structuren zonder bewegende elementen tot uiterst complexe elektromechanische systemen met meerdere bewegende elementen onder controle van geïntegreerde micro-elektronica. MEMS-sensoren zijn een subklasse van MEMS-apparaten die specifiek ontworpen zijn om fysische fenomenen te detecteren en te meten. Gebruikelijke types MEMS-sensoren zijn onder andere:
- Versnellingsmeters: Meten versnellingskrachten, die gebruikt kunnen worden om oriëntatie, trillingen en schokken te detecteren. Ze worden veel gebruikt in smartphones, spelcontrollers en airbagsystemen in auto's.
- Gyroscopen: Meten hoeksnelheid of rotatiesnelheid. Ze zijn essentieel in navigatiesystemen, mobiele apparaten en stabilisatiesystemen voor camera's en drones.
- Druksensoren: Detecteren drukveranderingen en worden gebruikt in verschillende toepassingen, zoals weersbewaking, industriële procesregeling en medische apparatuur.
Voordelen van MEMS-technologie
MEMS-technologie heeft zelf ook enkele voordelen. MEMS-sensoren bieden handige functies die beschikbaar zijn met elke andere sensorlijn zonder ruimtebeperkingen. Bovendien maakt MEMS gebruik van zeer compacte micromachinecomponenten die zo klein zijn dat elke MEMS-sensor gemakkelijk in uw handpalm past. Bovendien hebben MEMS sensoren een IP67 afdichting. Dit komt omdat de sensoren bestand moeten zijn tegen intense temperaturen van 40º tot +85ºC. De meeste industrieën waarin MEMS-sensoren worden gebruikt, werken bij extreme temperaturen. En dankzij deze afdichting kunnen de sensoren tijdelijk in ondiep water worden ondergedompeld, zodat ze de offshore en onderzeese pitch- en roll-toepassingen kunnen bewaken. Andere elektrolytische sensoren hebben weliswaar een hogere nauwkeurigheid, maar zijn vaak gevoeliger voor temperatuur.
Bestand tegen schokken en trillingen
Een ander voordeel van deze MEMS-sensoren is dat ze bestand zijn tegen schokken en trillingen. MEMS-sensoren zijn misschien niet de meest volhardende in schokabsorberende omgevingen, maar MEMS inclinometers hebben een trillingsbestendigheid van 10grms @ 10-1000Hz en versnellingsmeters hebben een schokbestendigheid van 100G. Deze sensoren zijn dus niet geschikt voor gebruik in zeer schokabsorberende scenario's, zoals militaire toepassingen, maar ze zijn wel geschikt voor industriële metingen en besturing, boorapparatuur en sommige geotechnische bewakingsdoeleinden.
Onze MEMS-sensoren
Beperkingen
Sensoren met MEMS-technologie lijken geweldig, maar ze hebben ook enkele beperkingen. Over het algemeen hebben MEMS-sensoren vaak een grotere temperatuurdrift. Dit kan een probleem zijn voor wie geen temperatuurcompensatie of verwarmingsmogelijkheden heeft. En in vergelijking met andere traditionele en duurdere sensoren hebben MEMS-sensoren meestal een lagere nauwkeurigheid. Daarom moet u altijd eerst bepalen wat u precies moet meten voordat u tot aanschaf overgaat.
Veel verschillende gebieden en lage kosten
MEMS-sensoren zijn perfect voor toepassingen die niet de hoogste nauwkeurigheid vereisen, zoals industriële automatisering, nivellering van platforms, positiecontrole en metingen van de verticale en horizontale hoek. Daarom zijn MEMS elektrolytische sensoren perfect geschikt voor veel verschillende toepassingen tegen lage kosten.
Verbeterde prestaties
MEMS-technologie en MEMS-sensoren betekenen een belangrijke vooruitgang in de miniaturisatie en integratie van mechanische en elektronische systemen. Hun wijdverspreide toepassing in verschillende industrieën benadrukt hun veelzijdigheid en belang. Naarmate de technologie zich verder ontwikkelt, zullen MEMS-apparaten naar verwachting nog meer ingang vinden, betere prestaties leveren en nieuwe toepassingen mogelijk maken.
Neem gerust contact met mij op
voor technische vragen of opmerkingen over technologie en MEMS-technologie